日本SATO佐藤真空（PHIL）低真空用真空计

简要描述：

更新时间：2023-11-22

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产品介绍：

日本SATO佐藤真空（PHIL）低真空用真空计系列产品，测量范围含盖普通大气压的低真空到高真空((101kPa～1×10-7Pa)广泛的量测范围，机种丰富，齐全。按各种用途，使用环境，分为数字式，模似式，可供用户选择。特别是皮拉尼真空计（PIRANA VACUUM GAUGE）采对敏感压力传感器器件，对于压力变力环境亦有长寿命，高信赖性，以前的皮拉尼真空计不能正测量的情况现在也可以测量。133.3Pa～大气压的减压领域的高精度压力测量开始可以实现了。同时，数字显示皮拉尼真空计的PVD-9500-7型真空计也实现了化时代的价格。佐藤真空为广大用户提供了各种的产品线，给广大用户更多的选择。

日本SATO佐藤真空（PHIL）低真空用真空计技术参数

品名	型号	测量范围	表示方式
薄膜真空计，隔膜真空计，电容真空计	PVD-9500-5	119kPa～0.2kPa	数字表示
	PVD-9500-L11	1333Pa～1Pa
	PVD-9500-L21	13.3kPa～0.01kPa
	PVD-9500-L31	133.3kPa～0.2kPa

PVD-9500-5真空计

PVD-9500-5型真空计

操作简单，真空控制方便，数字式真空计，具有如下特点：

真空压力3点设定，可以适用于各种用途。

高信赖性的绝对压真空计，采用扩散型半导体压力传感器，压力变动剧烈的环境亦具有高信赖性，长寿命的特点。

测量范围	119kPa～0.2kPa
圧力単位	kPa
表示周期	10回／秒
控制输出	接点输出3点独立
控制输出	继电器接点输出 AC110V 6A， 220V 3A（电阻负载）
电源电压	AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA
尺寸	W120×D200×H90 mm
重量	1.8kg 测定子380g
测定子	PS-900型 φ15测量接口， 2M接线

*可选项：接线3M，6M，12M/面板安装支架（PM9321）

输出线BNC接头（PM9322）/电源3P-2P适配器（PM9324）

半导体压力传感器的工作原理

结晶体受到机械外力影响后结晶结构发生扭曲，压阻效应使晶体本身的电阻发生变化。扩散型半导体压力传感器是硅经过薄化加工形成压感薄膜（受压部），形成扩散电阻。此薄膜受到压力时，产生应力，应力的大小变化的同时，电阻随之变化，就生电阻效应。

用途

本真空计适用于各种品质管理，真空干燥，真空含浸等用途。

1)		真空干燥：树脂类的脱泡，医药品（搞生物质・人工肝脏）等食品的低温干燥处理，电子元器件的真空测量
2)		真空含浸：发泡材等海棉材等的空气去除，绝缘材类，防腐材料，硬化材料等的真空含浸的真空度管理。
3)		真空保存：无氧化氛围气（真空及不活性气体的置换）中的氧化生材料・食品，药品等的保存压力的管理与监测。
4)		搬运设备（被搬运物的吸附确认）：真空吸附搬运系统，真空泵，真空传感器的组合等的真空吸附的确认。
5)		简易真空设备的应用。

PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31真空计

PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31型真空计

测压部件以超薄金属膜制成的薄膜（隔膜）型真空计，以电极间的静电容量的变化来反应真空压力的一种真空压力测量设备。零点的安定性高，测量范围广，腐食性气体亦可使用。配备不同型号的测定子，可以做不同范围的测量，按测量目的的不同可以选取不同型号的机型。

型号	PVD-9500-L11	PVD-9500-L21	PVD-9500-L31
测量范围	1333Pa～1Pa	13.33kPa～0.01kPa	133.3kPa～0.2kPa
压力单位	Pa	kPa	kPa
表示周期	10回／秒
控制输出	输出接点3点独立
	继电器接点输出 AC110V 6A, 220V 3A（电阻负载）
	记录输出满量程 0～10V DC
电源电压	AC 110V±10% 50Hz／60Hz 20VA
尺寸	W120×D200×H90 mm
重量	1.8kg 测定子510g（接线7P-2ME 长2m）
测定子	L11型	L21型	L31型